Die Herstellung eines mikrofluidischen Systems mit Hilfe einer Opferschicht typischerweise durch einen Prozess, als "Laminierung" oder "Schicht-zu-Schicht-Bearbeitung" bekannt ist.... [mehr]
Die Herstellung eines mikrofluidischen Systems mit Hilfe einer Opferschicht typischerweise durch einen Prozess, als "Laminierung" oder "Schicht-zu-Schicht-Bearbeitung" bekannt ist.... [mehr]