1 Frage zu Wasserausgasung

Die Reduzierung der Wasserausgasung in Vakuumkammern kann durch mehrere Maßnahmen erreicht werden: 1. **Reinigung der Kammer**: Vor dem Einsatz sollte die Vakuumkammer gründlich gereinigt werden, um Verunreinigungen und Rückstände zu entfernen, die Wasser binden könnten. 2. **Baking (Ausheizen)**: Die Kammer und die darin befindlichen Komponenten können auf erhöhte Temperaturen erhitzt werden, um gebundenes Wasser und andere Gase zu entfernen. Dies wird oft als "Baking" bezeichnet und kann bei Temperaturen von 100°C bis 200°C oder höher durchgeführt werden. 3. **Materialauswahl**: Verwende Materialien mit niedriger Ausgasungsrate, wie Edelstahl, Aluminium oder spezielle Vakuumkompatible Kunststoffe. 4. **Oberflächenbehandlung**: Oberflächen können poliert oder beschichtet werden, um die Anzahl der Stellen zu reduzieren, an denen Wasser adsorbiert werden kann. 5. **Trockene Umgebung**: Halte die Kammer in einer trockenen Umgebung, bevor sie evakuiert wird, um die Menge an adsorbiertem Wasser zu minimieren. 6. **Vakuumpumpen**: Verwende geeignete Vakuumpumpen, wie Turbomolekularpumpen oder Kryopumpen, die effektiv Wasserdampf entfernen können. 7. **Konditionierung**: Lasse die Kammer nach dem Evakuieren für eine gewisse Zeit unter Vakuum, um die Ausgasung zu reduzieren. Durch die Kombination dieser Methoden kann die Wasserausgasung in Vakuumkammern signifikant reduziert werden.